過程(cheng)臭氧(yang)分析儀(yi)半導(dao)體(ti)幹(gan)法(fa)清洗設備專(zhuan)用(yong)

過(guo)程臭氧(yang)分析儀(yi)半導(dao)體(ti)幹(gan)法(fa)清洗設備專(zhuan)用(yong)是(shi)壹(yi)款針(zhen)對測(ce)量(liang)高濃(nong)度臭氧(yang)的(de)氣體(ti)檢測(ce)模塊(kuai)，用(yong)於檢測(ce)工(gong)業(ye)過(guo)程中(zhong)的(de)氣態(tai)臭氧(yang)濃(nong)度。基於紫外分光(guang)吸(xi)收(shou)原(yuan)理設計(ji)，利(li)用(yong)臭氧(yang)氣體(ti)對特定(ding)紫外線(xian)吸(xi)收(shou)力的(de)大(da)小不同，來(lai)達(da)到臭氧(yang)濃(nong)度檢測(ce)的(de)目(mu)的(de)，采用(yong)耐高壓(ya)沖擊(ji)的(de)檢測(ce)腔(qiang)室(shi)結構(gou)及(ji)恒(heng)溫(wen)控制(zhi)設計(ji)，具有精(jing)準(zhun)性(xing)和可靠性(xing)。

應(ying)用(yong)領域(yu)

本儀(yi)器(qi)主要應(ying)用(yong)於測量(liang)半導(dao)體(ti)晶(jing)片(pian)制造(zao)、水(shui)處(chu)理(li)和臭氧(yang)研究等過(guo)程中(zhong)產生的(de)氣態(tai)臭氧(yang)濃(nong)度，測量(liang)範圍(wei)可達(da)到0-400mg/L。

產品特點(dian)
①高穩(wen)定性(xing)；

②采用(yong)自動控制(zhi)系(xi)統；

③高純度接觸(chu)材(cai)料設計(ji)；

④溫(wen)度、壓力(li)、光(guang)源(yuan)實時補償，在(zai)不同環(huan)境下數據(ju)穩(wen)定準(zhun)確(que)；

⑤氣路(lu)直線(xian)設計(ji)，使得產品安裝更(geng)為方(fang)便(bian)；

⑥密(mi)封圈(quan)采用(yong)全(quan)氟(fu)醚(mi)材質(zhi)，更(geng)耐臭氧(yang)腐蝕(shi)。

過(guo)程臭氧(yang)分析儀(yi)半導(dao)體(ti)幹(gan)法(fa)清洗設備專(zhuan)用(yong)技(ji)術參(can)數(shu)
量(liang)  程(cheng)：0-400mg/L
精(jing)  度：1%F.S
重 復(fu)性(xing)：1%F.S

零 漂(piao) 移(yi)：1%F.S/月(yue)
響(xiang)應(ying)時間(jian)：2秒到95%

氣體(ti)流量(liang)：0.5-25L/min

壓(ya)力範圍(wei)：0-115psi
模擬輸出(chu)：0-5V

串(chuan)口通(tong)訊(xun)：RS485，波特率(lv)9600bps

電源(yuan)輸入(ru)：15V

接(jie)    口(kou)：316L不(bu)銹鋼1/4VCR接頭

預熱(re)時間(jian)：15min

工(gong)作溫(wen)度：5～45℃

標(biao)準(zhun)溫(wen)度：0℃
尺(chi)  寸(cun)：170*55*134.9mm
重  量(liang)：1.1k